이 논문은 여러 금속(알루미늄, 크롬, 티타늄, 바나듐, 지르코늄)을 섞은 특수 합금에 질소를 넣어 만든 코팅막을 다룹니다. HiPIMS라는 특별한 스퍼터링 장비를 사용하고, 빛의 신호(OES)를 실시간으로 확인하면서 코팅 과정을 정밀하게 조절하는 방법을 연구했습니다. 이렇게 하면 원하는 성질의 코팅막을 더 정확하게 만들 수 있습니다.
이 논문은 HiPIMS라는 특수한 스퍼터링 방법으로 낮은 온도에서 산화구리(Cu2O) 얇은 막을 만드는 연구입니다. 이 방법으로 만들면 불순물이 적고 순도가 높은 막을 얻을 수 있습니다. 산화구리는 반도체나 태양전지 재료로 쓰일 수 있어 중요합니다.
이 논문은 마그네트론 스퍼터링이라는 방법으로 철과 가돌리늄을 섞은 특별한 자석 성질 막을 만드는 연구입니다. 이 막은 자석처럼 서로 반대 방향으로 힘이 작용하는 특징이 있습니다. 스퍼터링 장비와 공정을 이용해 이 코팅을 만들고 그 특성을 살펴봅니다.
이 논문은 스퍼터링이라는 방법으로 니켈레이트라는 특수한 산화물 박막을 만드는 연구입니다. 두 가지 재료를 동시에 뿌려서(공동 스퍼터링) 원자 배열이 규칙적인 결정막을 만들고, 그 안의 양이온 비율을 조절하는 방법을 다룹니다. 이는 반도체나 메모리 소자에 쓰일 수 있는 특수 재료를 만드는 기초 연구입니다.
마그네트론 공동 스퍼터링이라는 방법으로 망간에 구리를 섞어서 얇은 막을 만들었습니다. 이렇게 만든 막은 물을 분해해서 산소를 만드는 반응(산소 발생 반응)을 더 잘 일으킵니다. 즉, 구리를 넣으면 촉매 성능이 좋아진다는 것을 보여준 연구입니다.