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연구노트

배경 · 방법 · 핵심 결과 · 시사점 구조로 정리한 이번 배치 top 논문
수집 기간 2026-09-21 ~ 2026-09-27 · 상세 리뷰 5건
1 Influence of <i>In Situ</i> Atomic Layer Annealing and Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Techniques for Low-Temperature Deposition of HfO2 High-κ Gate Dielectrics score 9.0

리포트 준비 중
ACS Applied Electronic Materials · 2026
초록 기반반도체공정설비재료
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2 Stabilizing SrVO₃ bottom electrodes for high-k SrTiO₃ integration via La-doped STO passivation and O₃-reduced atomic layer deposition score 9.0

리포트 준비 중
NPG Asia Materials · 2026
초록 기반메모리소자 · 반도체공정재료
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3 Ultra-thin WS2 growth by ALD from bis(tert-butylimido)bis(dimethylamido)tungsten and 1,2-ethanedithiol and detailed surface mechanism score 8.0

리포트 준비 중
2026
초록 기반기초 물성연구 · 반도체공정설비재료
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4 Synthesis-programmed inherent area-selective atomic layer deposition for stable PGM-free cathodes in anion exchange membrane fuel cells score 6.0

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Journal of Power Sources · 2027
초록 기반기초 물성연구 · 기타공정설비재료
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5 Co3O4/TiO2 p-n junction electrode materials prepared by atomic layer deposition for high-performance supercapacitors score 4.0

리포트 준비 중
Materials Letters · 2027
초록 기반기초 물성연구 · 기타공정설비재료
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